二维材料特性表征——AFM和EDS出色结合

二维（2D）过渡金属硫化物在电子器件中的应用给出了令人振奋的前景，并显示出取代传统硅基材料的巨大潜力。围绕这些材料存在着诸多挑战，其中包括制造和表征。由于其低维特性，2D材料需要高分辨率技术来表征其特性。其中，AFM和SEM是两种非常适合于2D材料表征的无损高分辨率技术。目前，SEM已广泛应用于传统半导体器件的表征和失效分析，将这些相同的分析技术扩展到2D材料，将使2D材料更容易地集成到标准生产和质量控制过程中。牛津仪器的研究人员将AFM和SEM/EDS出色结合，获得2D材料的完整结构和成分特征。