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二维材料特性表征——AFM和EDS出色结合

二维(2D)过渡金属硫化物在电子器件中的应用给出了令人振奋的前景,并显示出取代传统硅基材料的巨大潜力。围绕这些材料存在着诸多挑战,其中包括制造和表征。由于其低维特性,2D材料需要高分辨率技术来表征其特性。其中,AFMSEM是两种非常适合于2D材料表征的无损高分辨率技术。目前,SEM已广泛应用于传统半导体器件的表征和失效分析,将这些相同的分析技术扩展到2D材料,将使2D材料更容易地集成到标准生产和质量控制过程中。牛津仪器的研究人员将AFM和SEM/EDS出色结合,获得2D材料的完整结构和成分特征。

  • 采用牛津仪器AZtec LayerProbe软件采集和处理EDS光谱,测量2D材料的厚度并量化其层数。
  • AFMEDS对2D材料的器件具备很好的表征能力,可将其作为失效分析和生产质量控制的手段
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Characterization of 2D Materials with AFM and EDS (PDF)
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