扫描电容显微镜（SCM）配件

扫描电容显微镜（SCM）是一种表征材料纳米电学性质的原子力显微镜(AFM)成像技术，它使用微波射频(RF)信号来探测半导体和其它种类样品中的电荷，载流子的位置，掺杂水平和掺杂类型(p型和n型)等。全新设计的Asylum Research SCM配件提供了比其他现有SCM模块更高的性能和能力。创新包括：

• 不仅可以测量微分电容（dC/dV），还测量与掺杂浓度线性相关的电容（Capacitance），从而可以更直观的解读SCM数据。

• 基于快速扫描AFM平台，可以实现超过现有的SCM 20倍的扫描速度，大大提高了检测效率（一幅图像只需10秒！）。

• 全新设计的SCM实现优于1aF的灵敏度高，可用于半导体、储能器件和二维材料等领域。

• 高分辨率成像可以获得更小的微观结构。

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