原子力显微镜自动化粗糙度测量新方案

3:51

0:00

表面粗糙度测量是原子力显微镜的最常用功能之一。虽然这类表征非常重要，但当需要对多个样品或单个样品的多个位置进行重复测量时，操作过程会变得单调且耗时。为了改变这一现状，牛津仪器推出了新款Jupiter Discovery原子力显微镜和Ergo高级自动化软件，能够实现粗糙度数据的自动化采集。

本视频展示了晶元样品多点粗糙度测试的完整流程。在完成初始设置后，操作人员无需驻守在设备旁，Ergo软件会自动移动样品和探针，用优化的参数测量每个位置的表面粗糙度。Ergo高级自动化软件包不仅提高了工作效率，还确保了不同样品间测量方法的一致性，从而提升了数据的可重复性。

相关产品