Cypher 升级干涉仪测试技术方案

牛津仪器Asylum Research的全新一代AFM原子力显微镜Vero，采用正交相位差分干涉技术 (Quadrature Phase Differential Interferometry， QPDI) ，可以精准地测量探针真正的位移，实现定量的AFM测试。Vero原子力显微镜是基于牛津仪器Cypher 系列原子力显微镜平台打造，可以通过在Cypher 平台上升级QPDI悬臂传感技术，实现更高的准确性，精确性和可重复性的AFM测试。

Cypher 升级QPDI悬臂传感技术后，具有以下性能优势：

QPDI 测量真正的探针位移，Vero使AFM结果精度及准确性大大提升

QPDI直接测量真正的探针位移而不是悬臂梁偏转的角度，从而显著提高AFM测量的定量化水平。

大大提高测量灵敏度

对于众多的悬臂梁，QPDI降低了10倍或更多的悬臂梁检测噪声，从而明显提升了测量灵敏度

避免面内和面外之间力的相互串扰

只有QPDI测量纯粹的垂直探针的位移，避免ODB垂直和侧向信号之间的大幅串扰

Vero光的波长精确校准

QPDI检测避免了与OBD校准相关的假设和不确定性

HfO₂表现出超低的压电响应，这使得用PFM测量具有挑战性。如左图所示，干涉仪测试的灵敏度使得压电畴的分辨率清晰可见。右图是在带有OBD的传统AFM上，压电响应信号完全被本底噪声所掩盖。(样本由德国NamLab提供)。