真空样品卡盘

MFP-3D Vacuum Chuck

MFP-3D AFM

利用MFP-3D原子力显微镜的真空卡盘，可以在不与样品的上表面有任何机械接触的情况下放置扁平的样品，同时样品的下表面也无需任何粘合剂。这个真空卡盘有三个不同尺寸的圆环，可以用来装配3 "或4 "的晶片，或尺寸在0.8 "至3 "之间的样品。请注意：晶片的某些区域无法进行访问。

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Options and Accessories for the MFP-3D AFM Family

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