纳米经时击穿

NanoTDDB配件为Jupiter XR大样品台原子力显微镜提供纳米级别的介电质击穿表征工具。在稳定施加最大至或是逐步增大至±150 V的偏压时，可以实时准确监测通过AFM导电探针的电流。

• 由于AFM探针具有很好的空间分辨率，这一模块与传统的探针台相比可以表征更小尺度下的介电质击穿反应（约20纳米）。
• 可以精准选取高分辨率图像中待探测的位置，或设置网格点阵进行测量与分析。

*nanoTDDB 为Jupiter XR AFM的可选购升级配件

12月7日网络讲座：制备与表征半导体介电质材料

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