原子力显微镜
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扫描电容显微镜(SCM)是一种纳米电学成像技术,可在 Cypher 和 Jupiter 原子力显微镜上使用。它利用微波射频(RF)信号,测量半导体及其他样品中载流子位置、掺杂浓度以及掺杂类型(p 型与 n 型 )的分布图。全新设计的 Asylum Research SCM 配件,相较目前市面上其他 SCM,性能有显著提升。其优势包括:
不仅能够测量dC/dV振幅和相位,还能测量与掺杂浓度呈线性相关的电容,从而让 SCM 数据的解读更为简便。
扫描速度提升超过 20 倍,大大提高了测试效率(仅需 10 秒左右就能完成成像!)
成像分辨率更高,能清晰解析更小的结构。