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纳米级依时性介质击穿(NanoTDDB)

利用NanoTDDB™,可以在Cypher原子力显微镜上实现纳米级精度的介质击穿测量。操作时可以施加恒定电压,或逐渐增加的偏压(最高达±150 V),同时利用一个导电的原子力显微镜探针来监测电流。

  • 凭借原子力显微镜探针针尖的空间分辨率,可以实现在更小的尺度范围(与使用传统的探针台相比)对介质击穿(~20 nm)进行局部测量。

  • 可以从高分辨率图像中精确地选择测量点,或者对网格点进行成像和分析。


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