激光干涉位移传感器（IDS）

Cypher AFM系列上的激光干涉位移传感器（Interferometric Displacement Sensor, IDS）配件直接测量探针悬臂垂直样品的位置直线偏移，而非像传统光杠杆法（OBD）测量偏移角度，故而不受静电耦合影响，可提高实验结果的可重复性，以及准确性。非常适用于压电力显微镜（PFM）以及d₃₃的测量。

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