Cypher AFM系列上的激光干涉位移传感器(Interferometric Displacement Sensor, IDS)配件直接测量探针悬臂垂直样品的位置直线偏移,而非像传统光杠杆法(OBD)测量偏移角度,故而不受静电耦合影响,可提高实验结果的可重复性,以及准确性。非常适用于压电力显微镜(PFM)以及d33的测量。
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