激光干涉位移传感器（IDS）

Cypher AFM系列上的激光干涉位移传感器（Interferometric Displacement Sensor, IDS）配件直接测量探针悬臂垂直样品的位置直线偏移，而非像传统光杠杆法（OBD）测量偏移角度，故而不受静电耦合影响，可提高实验结果的可重复性以及准确性。非常适用于压电力显微镜（PFM）以及d₃₃的测量。

Cypher IDS的关键优势：

• 激光干涉法可以避免由于探针悬臂与样品间的静电力而导致的PFM假象。
• 测量压电常数（deff）时，提供更准确、更可重复的测量结果。

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