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快速扫描电容显微镜(SCM)

扫描电容显微镜(SCM)是一种表征材料纳米电学性质的原子力显微镜(AFM)成像技术,能够应用于CypherJupiter XR原子力显微镜,它使用微波射频(RF)信号来探测半导体和其它种类样品中的电荷,载流子的位置,掺杂水平和掺杂类型(p型和n型)等。全新设计的Asylum Research SCM配件提供了比其他现有SCM模块更高的性能和能力。创新包括:

  • 不仅可以测量微分电容(dC/dV),还测量与掺杂浓度线性相关的电容(Capacitance),从而可以更直观的解读SCM数据。

  • 基于快速扫描AFM平台,可以实现超过现有的SCM 20倍的扫描速度,大大提高了检测效率(一幅图像只需10秒!)。

  • 全新设计的SCM实现优于1aF的灵敏度高,可用于半导体储能器件二维材料等领域。

  • 高分辨率成像可以获得更小的微观结构。


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