扫描微波阻抗显微镜（sMIM）

利用sMIM，可以对金属、半导体和绝缘材料进行纳米级的介电常数和导电性成像。该技术适用于所有MFP-3D 原子力显微镜（除了Origin型号以外）。

• 可提供更高的侧向分辨率（<50 nm）和信噪比（> 10倍）

•  与竞争品牌的同类技术相比，其运行速度快80倍，且功率更低

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