有关: 半导体、微电子与数据存储
Atomic Force Microscopy (AFM) is widely used as a tool in semiconductor and microelectronics during the development, production, and failure analysis stages. Please refer to the pages linked below for more information.
通过Cypher原子力显微镜的接触共振粘弹性成像模式,可以在约1 GPa到100 GPa的模量范围内,对材料的弹性和粘弹性阻尼进行量化的成像。Asylum的技术(如:Dual AC™双频共振跟踪(DART)和带激励)能够提升测量灵敏度和准确性。通过压电驱动(样品或悬臂)或blueDrive光热激励,可以提供准确的宽频带,以及不依赖于频率的驱动。
Cypher原子力显微镜的快速力成像模式能够在高速(最高达1000 Hz)测量“力-距离”曲线的同时,捕获到图像中的每一条曲线。实时和离线分析模型均可用于计算模量、附着力和其他性能。
Cypher AFM系列上的激光干涉位移传感器(Interferometric Displacement Sensor, IDS)配件直接测量探针悬臂垂直样品的位置直线偏移,而非像传统光杠杆法(OBD)测量偏移角度,故而不受静电耦合影响,可提高实验结果的可重复性以及准确性。非常适用于压电力显微镜(PFM)以及d33的测量。 Cypher IDS的关键优势: …
Asylum Research Cypher ES 在具有Cypher S出色性能的同时,增加了完整的环境控制功能。 Cypher ES 具有与Cypher S相同的高分辨率、速度和稳定性,同时在气体或液体环境(0-250°C),甚至某些恶劣的化学环境下也能轻易地操作实验。对于那些有苛刻要求的实验来说,Cypher ES AFM是十分理想的选择。
Asylum Research MFP-3D-BIO 融合了原子力显微镜和光学显微镜的功能,是生物科学研究的理想仪器。它是一款具有高成像分辨率、力测量性能和多功能性的生物版原子力显微镜。此外,它还能够与全系列的技术相集成。上述优势,使MFP-3D-BIO成为更适用于科研工作的一款原子力显微镜。
Cypher 原子力显微镜的AM-FM模式融合了常规轻敲模式的众多功能和优点,可以对纳米机械特性进行成像。常规轻敲模式可提供非侵入性、高分辨率的形貌成像,并对第二模式的共振进行量化分析,以预测材料的弹性和损耗模量,以及针尖与样品之间的损耗。
sMIM 可在Cypher原子力显微镜上实现对金属、半导体和绝缘材料的纳米级的介电常数和导电性成像。
利用NanoTDDB™,可以在Cypher原子力显微镜上实现纳米级精度的介质击穿测量。操作时可以施加恒定电压,或逐渐增加的偏压(最高达±150 V),同时利用一个导电的原子力显微镜探针来监测电流。
Asylum ResearchCypher S 是一款可商业化的快速扫描AFM,而且Cypher 系列AFM 系列是少有的全功能快速扫描AFM,该系列AFM可兼容各种模式和配件。此外,该系列的优势还在于其更容易获得高分辨率。在材料科学和生命科学研究领域, Cypher S 可以实现在空气和液体环境下的对样品进行高质量的扫描和测量。Cypher S后续还可以通过升级硬件进行环境控制,甚至实现视频速率扫描功能。
利用NanoTDDB™,能够实现介质击穿表征的纳米级精度。操作时可以施加恒定的电压,或逐渐增加的偏压(最高达±220 V),同时利用一个导电的原子力显微镜探针来监测电流 (适用于除Origin型号以外所有的MFP-3D AFM。使用MFP-3D Infinity时,电压范围是±150 V)。
Cypher原子力显微镜的 ORCA™ 模式可用于导电原子力显微镜成像和I-V测量。其标准模块能够测量约1 pA至20 nA的电流。此外还提供其他电流范围,以及双增益版本。
Jupiter XR AFM 上的AM-FM模式结合了标准轻敲模式与纳米力学性能成像的优势特点。标准轻敲模式提供非破坏性、高分辨率的形貌成像,而分析第二种更高频的共振行为,可以定量估测材料的弹性模量和损耗模量以及针尖样品耗散。 同时测量存储模量E′和损耗模量E′的双频轻敲模式 适用于50 kPa至300 GPa的样品 快速-与标准轻敲模式相同的速度 …
“力-距离曲线成像”技术的运行速度可高达300 Hz像素率,并可以捕获图像中的每一条曲线。该技术的实时和离线分析模式均可用于额外的数据分析(仅适用于MFP-3D Infinity)。
Cypher ES加热台能够在密封的气氛环境下,对样品进行加热(从室温至250°C)。
该电子探针台与MFP-3D原子力显微镜的扫描仪相连接。该装置可以实现在原子力显微镜扫描样品的同时对样品进行电学探测、电偏压和其他测量。另外还可以配置多种电气连接,并与各种成像模式相结合。
利用MFP-3D原子力显微镜的新型微硅探针,以及SThM探针夹持器,可以使温度和导热系数的单点测量和成像具有更高的分辨率(与传统的Wollaston线探针相比)。
AsylumResearch MFP-3D Origin+ 原子力显微镜是一款性能稳定,功能多样,扩展性强的原子力显微镜。它也是一款科研级的AFM,可用于多种研究领域。其核心性能与MFP-3D Origin相同,另外还支持多种MFP-3D专属配件。
Jupiter XR 原子力显微镜是一款同时具有进行高成像速度和大范围扫描能力的原子力显微镜。Jupiter XR可用于200mm晶圆样品的扫描,实现更高的分辨率、更快的测量速度、更简便的用户体验,并且在学术研究和工业研发领域都具有出色的通用性
MFP-3D Origin™ 具有Asylum Research产品的稳定性能和高品质。 Origin系列既有稳定的性能,又有实惠的价格。它可以实现高分辨率成像,并支持大尺寸样本、多种成像模式,以及多种配件。因此,Origin系列是一款理想的AFM入门产品!
MFP-3D 原子力显微镜“接触共振粘弹性成像模式”的优势是:在~1 Gpa至300 GPa模量范围内,对样品材料的弹性和粘弹性阻尼进行量化的成像。Asylum的技术【如:Dual AC™双频共振跟踪(DART)和频带激励】能够提升测量的灵敏度和准确性。通过探针或者样品可实现准确的宽频带和不依赖于频率的驱动。
利用sMIM,可以对金属、半导体和绝缘材料进行纳米级的介电常数和导电性成像。该技术适用于所有MFP-3D 原子力显微镜(除了Origin型号以外)。
凭借ORCA™导电原子力显微镜的探针夹持器,所有MFP-3D 原子力显微镜都可以进行导电AFM成像和I-V性能测量。标准模块能够测量约1 pA至20 nA的电流。此外还提供其他电流范围,以及双增益版。
Cypher VRS1250 AFM较第一代Cypher VRS提升了两倍的扫描速度,达到每秒1250行。这项性能提升不仅让时间分辨率增强至每秒45帧,对空间分辨率来说,亦能在稍低的帧速下得到更多的影像像素。与此同时,兼具高稳定成像特性、易于使用的密闭样品腔室、兼容气体灌注实验设置,以及各种操作模式和配件,Cypher VRS1250让您的实验野心更具底气。
Cypher L是Cypher家族中的性价比之选,以其超低的预算需求和在同价格区间内登峰造极的性能和易用性,为微观探索立下了新的期望。全新的Ergo软件提供了适用不同研究领域的核心功能,包括二维材料,聚合物科学,薄膜沉积和蚀刻加工以及量子技术等。作为屡获殊荣的Cypher系列一份子,Cypher L很容易升级到Cypher S, ES或VRS1250,允许您在预算范围内实现最高质量的AFM平台搭建,并在后期根据需要升级新功能。
Cypher ES Polymer Ed是专门为聚合物材料的研究量身定做。它拥有与Cypher ES一样的出色性能和多功能性,同时还配置了:blueDrive 光热激发轻敲模式、来自NanoMechPro工具箱的三大技术(用于纳米机械表征),以及高温聚合物加热器。
Jupiter XR原子力显微镜的快速力成像模式能够在高速(最高达2500 Hz)测量“力-距离”曲线的同时,捕获到图像中的每一条曲线。实时和离线分析模型均可用于计算模量、附着力和其他性能。
PolyHeater是一种模块化加热台,它适用于高温聚合物的研究(在空气或受控的气体环境下,可从室温加热至300°C)。这个加热台支持直径可达20 mm的样品。PolyHeater+ 的加热温度可达400°C,适用于MFP-3D AFM Infinite、Origin+,以及生物型原子力显微镜。在MFP-3D Origin型号的仪器上使用时,PolyHeater可加热至275°C,并且无需环境控制器。